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真空燒結爐

真空烘烤爐

簡 介

本真空烘烤爐(BACKING 爐)設計來清除有機金屬化學氣相磊晶外延片機台上石墨晶片載板(susceptor)的表面沉積物(GaN , GaAs, InGaASP)等三五族物質,使石墨承板潔淨可重複再使用。 VACLONG 獨步業界,將真空技術應用至上述功能,開發BACKING爐製程,雖然同業相繼模仿, VACLONG真空爐已行銷全球超過26年,獲MOCVD設備製造晶圓外延片廠家所使用,品質備受肯定。

應 用

  • 超硬碳化鎢合金燒結
  • 鎢合金燒結
  • 粉末不銹鋼/高速鋼
  • 燒結
  • 磁性材料燒結
  • 碳纖維材料燒結
  • 金屬射出成型

特 性

  • 脫臘、燒結、冷卻在同一腔體內
  • 操作安全性高
  • 溫控穩定、均溫性佳且易於操作
  • 具成本效益之生產

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  • 標準規格:

    VSG-B200/400/400R/600

    VSG-100

    VSG-200

    VSG-600

    VSG-1000

    詳細資料請連繫
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    臻龍實業股份有限公司.新竹市東區公道五路二段158號9A.

    TEL/ 886-3-5752338.FAX/ 886-3-5750359.E-mail/ sales@vaclong.com / service@vaclong.com

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